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本文首发于 2020 年 1 月 14 日

槽式设备订单已排在下半年，为公司湿法设备打下基础

狮扑体育注册①遵循下游客户“新厂-产能提升-生产运营-技术升级”的不同生命周期，公司业务涵盖高纯工艺系统、清洗设备、博辉科技、晶圆再生系统。其中，公司湿法清洗工艺设备目前包括槽式和单片机设备。从槽型产品开发进度来看，公司2018年开始获得订单。2019年，中芯国际、万国、德州仪器、燕东、华润等用户首批设备基本完成。其中，中芯国际6台设备投入使用。包括清洗、蚀刻、金属剥离、晶圆回收等工艺。此外，2019年，公司新增华虹集团集成电路、中车、台湾力晶、湖南楚威、鑫盛、韩天成、华为等新用户。台湾力晶是中国大陆以外的第一笔湿法加工设备订单。总体而言，截至2019年底，公司已获得近40份正式订单，已完成近20台设备的安装，包括湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺。2019年湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造，产品线为比较完整；中车、台湾力晶、湖南楚威、鑫盛、韩天成、华为等。台湾力晶是中国大陆以外的第一笔湿法加工设备订单。总体而言，截至2019年底，公司已获得近40份正式订单，已完成近20台设备的安装，包括湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺。2019年湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造，产品线为比较完整；中车、台湾力晶、湖南楚威、鑫盛、韩天成、华为等。台湾力晶是中国大陆以外的第一笔湿法加工设备订单。总体而言，截至2019年底，公司已获得近40份正式订单，已完成近20台设备的安装，包括湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺。2019年湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造，产品线为比较完整；华为等台湾力晶是中国大陆以外的第一笔湿法加工设备订单。总体而言，截至2019年底，公司已获得近40份正式订单，已完成近20台设备的安装机械设备清洗服务，包括湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺。2019年湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造，产品线为比较完整；华为等台湾力晶是中国大陆以外的第一笔湿法加工设备订单。总体而言，截至2019年底，公司已获得近40份正式订单，已完成近20台设备的安装，包括湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺。2019年湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造，产品线为比较完整；公司已获得近40份正式订单，已完成近20台设备的安装，包括湿法蚀刻、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺。2019年湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造机械设备清洗服务，产品线为比较完整；公司已获得近40份正式订单，已完成近20台设备的安装，包括湿法蚀刻、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺。2019年湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造机械设备清洗服务，产品线为比较完整；湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造，产品线为比较完整；湿法设备新业务订单总量约1.7亿，远超前期计划。至2019年底，已完成8/12英寸全自动槽式设备、4腔单片设备、12英寸12腔多工艺先进工艺单片设备的研发制造，产品线为比较完整；

②2020年Q1虽然受疫情影响，但从Q2开始出货单片机清洗槽式湿法处理设备10余台。其中，槽式设备自3月下旬开始以每月2-3台的数量交付给客户。截至2020年底，公司整体式、槽式湿法工艺设备全年生产30余台。交付的设备涵盖了近90%的湿法化学工艺步骤，包括光刻胶去除设备（PRS）、预清洗设备（PreClean）、有机溶剂清洗设备（Solvent）、金属剥离设备（metallift off）等。产品品类完善，客户认可度强；

③从2020年下半年开始，疫情对下游前期的影响将逐步消除。公司订单供不应求，生产已排到2021年第三季度。考虑到国内特殊工艺生产线/8寸线仍处于持续加大投入的状态，以公司目前的牌面来看在罐体清洗方面的地位优势，公司未来的订单仍有望继续增长。

狮扑体育注册单片清洗空间更大，公司单片清洗设备进入订单收获期

① 两类清洗设备中，罐体清洗设备主要用于炉管前清洗、脱胶成膜前清洗、铜/钛蚀刻前清洗和氧化层/氮化硅蚀刻清洗。当工艺节点缩小到100nm以下时，为了提高清洗性能，晶圆厂逐渐转向单片机清洗设备。因此，在集成电路制造的先进工艺中，单片机清洗已逐渐取代槽式清洗成为主流。同样，根据清洗设备领域的龙头企业迪恩斯2020年财报，单片机清洗设备占清洗设备收入的65%，这进一步说明单片机清洗设备逐渐成为湿法清洗工艺中的重中之重。设备类型；

②公司一直投资于单片机清洗领域。2020年6月，公司向华虹集团ICRD交付的12英寸单片机湿法制程设备正式入驻。2020年底，公司在国内重点项目上取得突破，并获得批量湿法订单，包括单片机、特殊工艺（高温硫酸、晶背清洗、二液清洗、异丙醇干燥）等机型进一步填补空白。解决了国内设备在湿法工艺领域的空白。同时，公司向合肥长鑫交付了一台12英寸特殊工艺单片机设备，相关能力和性能得到了国际厂商的认可。到 2020 年底，公司订购S300单片机湿法加工设备10余台，单片机湿法加工设备合同额超3亿元；③ 总体来看，公司目前湿法工艺设备可生产晶圆技术节点已覆盖0.35um至28nm，涵盖先进技术、功率器件、微机电器件、第三代化合物半导体等集成电路的制造和研发。未来，随着单片机清洗设备量的不断增加，有望分享国内近百亿台半导体清洗设备的市场空间。目前湿法加工设备可生产的晶圆技术节点已覆盖0.35um至28nm，涵盖先进技术、功率器件、微机电器件、第三代化合物半导体等集成电路的制造和研发。未来，随着单片机清洗设备量的不断增加，有望分享国内近百亿台半导体清洗设备的市场空间。目前湿法加工设备可生产的晶圆技术节点已覆盖0.35um至28nm，涵盖先进技术、功率器件、微机电器件、第三代化合物半导体等集成电路的制造和研发。未来，随着单片机清洗设备量的不断增加，有望分享国内近百亿台半导体清洗设备的市场空间。

狮扑体育注册公司已基本完成BU1-5业务布局机械设备清洗服务，贯穿客户全生命周期

①公司目前的资源重点集中在集成电路（半导体）领域。公司的BU1（高纯度制程系统）、BU2（湿法制程设备及晶圆再生服务）、BU3（电子材料及元件）均服务于半导体领域，服务于同一群客户，但产品及服务对应对用户不同的生命周期“新建工厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”。同时，公司还拥有以博汇科技为代表的生物制药板块（BU4）和光电板块（BU5）；

②就主营业务的高纯工艺系统板块而言，2020年上半年疫情对行业产生了部分影响，但2020年下半年行业整体恢复增长。往年11月至12月是公司垫料收款时间，但2020年11月至2020年12月相关业务仍处于招标开盘状态，公司订单呈现快速增长；

狮扑体育注册③硅片再生业务方面，公司合肥项目已进入室内装修及最终设备调试阶段。预计2021年Q1将通过相关客户的认证和流片。建成后，将是国内第一款能够满足12英寸要求的产品。，14nm晶圆生产线需要再生。项目一期产能规划为7万片/月，年产84万片。目前，产能已基本被下游客户预留。

④ 展望长远，五年计划中机械设备清洗服务，公司目标是系统集成事业部（BU1，智纯集成）每年贡献超过10亿单；湿法事业部（BU2，智微科技）五年内将拥有200多个单位。各种湿法清洗机的装机容量；材料与元器件事业部（BU3，智一电子）将重点投资开发28-14nm工艺的高纯电子材料及相关元器件；湿法工艺事业部（BU2）、智微科技）投资开发晶圆再生服务；生物制药和食品饮料领域（BU4、法诚浩信）大力发展模块化工艺系统；光纤传感业务和光器件业务（BU5、博汇科技）已经成为细分的App tap。总体来看，公司目前的业务布局更加清晰，长期发展逻辑更加顺畅。

投资建议

公司目前的业务围绕着下游客户的不同生命周期“新建厂房——产能爬坡——生产运营——技术升级”。高纯系统主营业务方面，受益于近两年国内半导体厂商建设高峰，公司高纯系统订单保持稳定增长，利润率有望继续提升上升; 线路逐渐丰富，交货顺畅，深受客户认可；单片机清洗设备也顺利交付，累计订单突破3亿，成为公司下一阶段发展的最大亮点。将公司2020-2022年收入上调至12.94/18.87/2。

风险提示

国际贸易摩擦风险影响行业发展。

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证券研报名称：《智春科技：年底订单全面提速，清洗设备进入发展新阶段》

对外发布时间：2020年1月14日

报告出具机构：中国证券股份有限公司

本报告分析师：吕娟，执业证书编号：S01；卫宇，执业证号：S02

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